Method for characterizing the surface shape of an optical element, and interferometric test arrangement

WO2023051939 Art A1 6. April 2023

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023051939
Aktenzeichen: EP21787365
Anmeldetag: 1. Oktober 2021
Veröffentlichung: 6. April 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02055G01B9/02056G01B9/02G01B11/24G01M11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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