Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, actinic ray-sensitive or radiation-sensitive film, pattern-forming method and electronic device manufacturing method

WO2023054126 Art A1 6. April 2023

Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023054126
Aktenzeichen
EP22875993
Anmeldetag
21. September 2022
Veröffentlichung
6. April 2023
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/039C08F232/08G03F7/004G03F7/038G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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