Voltage and current probe assemblies for radio frequency current carrying conductors

WO2023055688 Art A1 6. April 2023

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023055688
Aktenzeichen: EP22877186
Anmeldetag: 26. September 2022
Veröffentlichung: 6. April 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01R1/073G01R1/067G01R31/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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