Device for heating a substrate for vacuum deposition

WO2023057706 Art A1 13. April 2023

Anmelder: SAFRAN ELECTRONICS&DEFENSE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023057706
Aktenzeichen: EP22797415
Anmeldetag: 29. September 2022
Veröffentlichung: 13. April 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/50C23C14/54C23C16/458C23C16/46H01L21/687H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SAFRAN ELECTRONICS&DEFENSE
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Safran Electronics & Defense

Safran Electronics & Defense ist eine französische Tochtergesellschaft des Safran-Konzerns für Avionik, Optronik und Verteidigungselektronik mit entsprechenden Patenten.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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