Spectroscopic reflectometry and ellipsometry measurements with electroreflectance modulation
WO2023059529
Art A1
13. April 2023
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023059529
- Aktenzeichen
- EP22879135
- Anmeldetag
- 3. Oktober 2022
- Veröffentlichung
- 13. April 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/17G01N21/21G01N21/55G01N21/95G01J3/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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