Electrical connector for high power in a vacuum environment and method

WO2023061750 Art A1 20. April 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023061750
Aktenzeichen
EP22786045
Anmeldetag
28. September 2022
Veröffentlichung
20. April 2023
Rechtsraum
WO
IPC
H01R13/53H01R13/648H01R13/533H01R24/50H01R12/73G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML NETHERLANDS B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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