Nitride semiconductor substrate and method for producing same

WO2023063278 Art A1 20. April 2023

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023063278
Aktenzeichen
EP22880973
Anmeldetag
11. Oktober 2022
Veröffentlichung
20. April 2023
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/205C30B25/18C30B29/38H01L21/02H01L21/20H01L27/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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