Nitride semiconductor substrate and method for producing same
WO2023063278
Art A1
20. April 2023
Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023063278
- Aktenzeichen
- EP22880973
- Anmeldetag
- 11. Oktober 2022
- Veröffentlichung
- 20. April 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/205C30B25/18C30B29/38H01L21/02H01L21/20H01L27/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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