Alignment mark for front to back side alignment and lithography for optical device fabrication

WO2023064065 Art A1 20. April 2023

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023064065
Aktenzeichen: EP22881542
Anmeldetag: 19. September 2022
Veröffentlichung: 20. April 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00G03F7/00G02B27/01G02B5/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.783 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von