Controlled delivery of low-vapor-pressure precursor into a chamber

WO2023064080 Art A1 20. April 2023

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023064080
Aktenzeichen: EP22881548
Anmeldetag: 22. September 2022
Veröffentlichung: 20. April 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/448C23C16/52C23C14/22C23C14/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von