Factory interface robots usable with integrated load locks

WO2023064301 Art A1 20. April 2023

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023064301
Aktenzeichen: EP22881670
Anmeldetag: 11. Oktober 2022
Veröffentlichung: 20. April 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677H01L21/67H01L21/68B25J11/00B25J9/04B25J9/00B25J15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.783 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von