Out-of-band leakage correction method and metrology apparatus

WO2023066617 Art A1 27. April 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023066617
Aktenzeichen: EP22783513
Anmeldetag: 27. September 2022
Veröffentlichung: 27. April 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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