Charged particle beam device

WO2023067681 Art A1 27. April 2023

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023067681
Aktenzeichen: EP21961334
Anmeldetag: 19. Oktober 2021
Veröffentlichung: 27. April 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/04H01J37/065H01J37/07H01J37/073

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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