Resin composition, cured product thereof, laminate using same, electrostatic chuck, and plasma processing device

WO2023068044 Art A1 27. April 2023

Anmelder: TORAY INDUSTRIES, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023068044
Aktenzeichen: EP22883349
Anmeldetag: 5. Oktober 2022
Veröffentlichung: 27. April 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C08L79/08C08G59/50C08K3/013C08K5/544C08L63/00C08L83/04H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TORAY INDUSTRIES, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toray Industries

Japanischer Chemie- und Materialkonzern mit Sitz in Tokio. Toray entwickelt Kohlefasern, synthetische Fasern, Kunststoffe, Chemikalien sowie Materialien für Textil-, Automobil-, Elektronik- und Luftfahrtindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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