Alumina-based sintered body and electrostatic chuck
WO2023068159
Art A1
27. April 2023
Anmelder: NITERRA CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023068159
- Aktenzeichen
- EP22883463
- Anmeldetag
- 13. Oktober 2022
- Veröffentlichung
- 27. April 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C04B35/111C04B41/91H01L21/683
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NITERRA CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Niterra
Niterra ist ein japanischer Hersteller von Zündkerzen, Keramikbauteilen und Sensoren für die Fahrzeugindustrie, hervorgegangen aus NGK Spark Plug. Der Patentbestand konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie anorganische Chemie und Elektroniktechnik.
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Vertreten von
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