Alumina-based sintered body and electrostatic chuck

WO2023068159 Art A1 27. April 2023

Anmelder: NITERRA CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023068159
Aktenzeichen
EP22883463
Anmeldetag
13. Oktober 2022
Veröffentlichung
27. April 2023
Rechtsraum
WO
IPC
C04B35/111C04B41/91H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NITERRA CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Niterra

Niterra ist ein japanischer Hersteller von Zündkerzen, Keramikbauteilen und Sensoren für die Fahrzeugindustrie, hervorgegangen aus NGK Spark Plug. Der Patentbestand konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie anorganische Chemie und Elektroniktechnik.

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