Group 3 metal precursor, preparation method therefor, and method for manufacturing thin film by using same
WO2023068629
Art A1
27. April 2023
Anmelder: KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023068629
- Aktenzeichen
- EP22883852
- Anmeldetag
- 12. Oktober 2022
- Veröffentlichung
- 27. April 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/40C23C16/455C07F5/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Korea Research Institute of Chemical Technology
Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon, tätig in der Entwicklung von Chemikalien, Materialien und Verfahrenstechnik.
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