Apparatus for generating magnetic fields on substrates during semiconductor processing

WO2023069158 Art A1 27. April 2023

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023069158
Aktenzeichen
EP22884216
Anmeldetag
7. Juli 2022
Veröffentlichung
27. April 2023
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/35C23C14/50H01J37/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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