Binary Gas Purity Analyzer

WO2023069839 Art A1 27. April 2023

Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023069839
Aktenzeichen: EP22884587
Anmeldetag: 7. Oktober 2022
Veröffentlichung: 27. April 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01N33/00G01F1/76G01L19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS INSTRUMENTS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

425 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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