Super-resolution high-speed laser direct-write lithography method and apparatus based on parallel interpenetration

WO2023071192 Art A1 4. Mai 2023

Anmelder: ZHEJIANG LAB, ZHEJIANG UNIVERSITY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023071192
Aktenzeichen: EP22885102
Anmeldetag: 2. Juni 2022
Veröffentlichung: 4. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ZHEJIANG LAB
ZHEJIANG UNIVERSITY
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Zhejiang Lab

Zhejiang Lab ist eine chinesische Forschungseinrichtung in der Provinz Zhejiang mit Schwerpunkt auf Informatik und Computertechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Software, ergänzt durch Nachrichtentechnik sowie Mess- und Medizintechnik. Die jungen Anmeldungen aus 2020 bis 2025 betreffen unter anderem Ressourcenzuweisung in Satelliten-Cloud-Netzwerken und optische Schaltungen.

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🇨🇳 Zhejiang University

Chinesische Universität mit Sitz in Hangzhou, eine der führenden Forschungshochschulen Chinas mit breitem Fächerspektrum einschließlich Ingenieurwissenschaften und Materialforschung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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