Semiconductor process device and grabbing apparatus

WO2023071860 Art A1 4. Mai 2023

Anmelder: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023071860
Aktenzeichen
EP22885738
Anmeldetag
18. Oktober 2022
Veröffentlichung
4. Mai 2023
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/687H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Beijing NAURA Microelectronics Equipment

Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.

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