Method to acquire a 3d image of a sample structure

WO2023072557 Art A1 4. Mai 2023

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH, CARL ZEISS X-RAY MICROSCOPY INC. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023072557
Aktenzeichen: EP22800649
Anmeldetag: 7. Oktober 2022
Veröffentlichung: 4. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/046G06T11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: CARL ZEISS SMT GMBH
CARL ZEISS X-RAY MICROSCOPY INC.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von