Inspection apparatus, polarization-maintaining rotatable beam displacer, and method

WO2023072880 Art A1 4. Mai 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023072880
Aktenzeichen: EP22809070
Anmeldetag: 24. Oktober 2022
Veröffentlichung: 4. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N21/956G03F9/00H01L21/66G02B5/04G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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