Error factor estimation device, error factor estimation method, and computer-readable medium

WO2023073941 Art A1 4. Mai 2023

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023073941
Aktenzeichen: EP21962482
Anmeldetag: 29. Oktober 2021
Veröffentlichung: 4. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G05B23/02H01L21/02H01L21/66G06N20/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

3.840 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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