Film forming method

WO2023074052 Art A1 4. Mai 2023

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023074052
Aktenzeichen: EP22886389
Anmeldetag: 6. Juli 2022
Veröffentlichung: 4. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34C23C14/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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