Shape acquisition method, object management method and work support method, and shape acquisition system and work support system

WO2023074684 Art A1 4. Mai 2023

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023074684
Aktenzeichen
EP22887010
Anmeldetag
25. Oktober 2022
Veröffentlichung
4. Mai 2023
Rechtsraum
WO
IPC
G01B21/32E02D17/00G01C15/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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