Moiré Scatterometry Overlay

WO2023076081 Art A1 4. Mai 2023

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023076081
Aktenzeichen
EP22887953
Anmeldetag
19. Oktober 2022
Veröffentlichung
4. Mai 2023
Rechtsraum
WO
IPC
G01B11/27G01B11/25G03F7/20H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von

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