Valve for semiconductor equipment

WO2023076145 Art A1 4. Mai 2023

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023076145
Aktenzeichen: EP22887990
Anmeldetag: 24. Oktober 2022
Veröffentlichung: 4. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: F16K35/00F16K11/10F16K31/04H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

Vertreten von