Three dimensional (3d) memory device and fabrication method using self-aligned multiple patterning and airgaps

WO2023077336 Art A1 11. Mai 2023

Anmelder: YANGTZE MEMORY TECHNOLOGIES CO., LTD. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023077336
Aktenzeichen
EP21962854
Anmeldetag
4. November 2021
Veröffentlichung
11. Mai 2023
Rechtsraum
WO
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
YANGTZE MEMORY TECHNOLOGIES CO., LTD.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Yangtze Memory Technologies

Chinesisches Unternehmen aus Wuhan, das NAND-Flash-Speicherchips entwickelt und produziert.

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