Wafer edge inspection of charged particle inspection system

WO2023078628 Art A1 11. Mai 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023078628
Aktenzeichen: EP22800212
Anmeldetag: 5. Oktober 2022
Veröffentlichung: 11. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32H01J37/02H01J37/20H01L21/687H01J37/26H01J37/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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