Turbomolecular vacuum pump and associated cleaning method
WO2023078782
Art A1
11. Mai 2023
Anmelder: PFEIFFER VACUUM, PFEIFFER VACUUM, INC. 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023078782
- Aktenzeichen
- EP22808834
- Anmeldetag
- 27. Oktober 2022
- Veröffentlichung
- 11. Mai 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F04D19/04F04D27/02F04D29/58F04D29/70
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- PFEIFFER VACUUM
PFEIFFER VACUUM, INC. - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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