Vacuum pump, vacuum pump control method, power conversion device for vacuum pump, power conversion device for compressor, and compressor
WO2023079621
Art A1
11. Mai 2023
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023079621
- Aktenzeichen
- EP21963218
- Anmeldetag
- 4. November 2021
- Veröffentlichung
- 11. Mai 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F04C25/02F04C28/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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