Liquid circulation system, substrate processing device, and liquid circulation method

WO2023080017 Art A1 11. Mai 2023

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, TOKYO UNIVERSITY OF SCIENCE FOUNDATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023080017
Aktenzeichen: EP22889837
Anmeldetag: 25. Oktober 2022
Veröffentlichung: 11. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02B01J3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
TOKYO UNIVERSITY OF SCIENCE FOUNDATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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🇯🇵 Tokyo University of Science Foundation

Die Tokyo University of Science Foundation ist die Trägerstiftung der japanischen Tokyo University of Science und verwaltet deren Patentaktivität. Das Portfolio konzentriert sich auf Medizintechnik/Gesundheit sowie Halbleiter- und Chemietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Therapeutika für posttraumatische Belastungsstörungen und chemische Herstellungsverfahren.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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