Process for the pulsed laser ejection of multiple epitaxial structures from one thin film growth

WO2023081521 Art A1 11. Mai 2023

Anmelder: THE BOARD OF TRUSTEES OF THE LELAND STANFORD JUNIO 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023081521
Aktenzeichen: EP22890923
Anmeldetag: 8. November 2022
Veröffentlichung: 11. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/78H01L21/782H01L21/784

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: THE BOARD OF TRUSTEES OF THE LELAND STANFORD JUNIO
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University

Rechtsträger der US-amerikanischen Stanford University in Kalifornien, der als Anmelder der zahlreichen Patente aus der Universitätsforschung fungiert. Schwerpunkte liegen unter anderem in Biotechnologie, Informatik und Materialwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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