Charged particle assessment system and method

WO2023083545 Art A1 19. Mai 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023083545
Aktenzeichen: EP22801424
Anmeldetag: 11. Oktober 2022
Veröffentlichung: 19. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/02H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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