Method and system of image analysis and critical dimension matching for charged-particle inspection apparatus

WO2023083559 Art A1 19. Mai 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023083559
Aktenzeichen: EP22801802
Anmeldetag: 14. Oktober 2022
Veröffentlichung: 19. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G06T5/00G06T5/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

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