Method and system of reducing chamber vibration

WO2023083573 Art A1 19. Mai 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023083573
Aktenzeichen: EP22802992
Anmeldetag: 19. Oktober 2022
Veröffentlichung: 19. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20H01J37/18B25J15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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