Valves with reduced particle generation and increased cycle life

WO2023083574 Art A1 19. Mai 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023083574
Aktenzeichen: EP22802993
Anmeldetag: 19. Oktober 2022
Veröffentlichung: 19. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: F16K51/02F16K3/18H01J37/00H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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