Chemical-mechanical polishing composition, production method therefor, and polishing method

WO2023085008 Art A1 19. Mai 2023

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023085008
Aktenzeichen: EP22892508
Anmeldetag: 18. Oktober 2022
Veröffentlichung: 19. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B24B37/00C01B33/141C09G1/02C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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