Composition for forming acrylamide group-containing resist underlayer film
WO2023085293
Art A1
19. Mai 2023
Anmelder: NISSAN CHEMICAL CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023085293
- Aktenzeichen
- EP22892791
- Anmeldetag
- 9. November 2022
- Veröffentlichung
- 19. Mai 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/11C08F20/54
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NISSAN CHEMICAL CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nissan Chemical Corporation
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.
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