Composition for forming acrylamide group-containing resist underlayer film

WO2023085293 Art A1 19. Mai 2023

Anmelder: NISSAN CHEMICAL CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023085293
Aktenzeichen
EP22892791
Anmeldetag
9. November 2022
Veröffentlichung
19. Mai 2023
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/11C08F20/54
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NISSAN CHEMICAL CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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