Systems and methods for defect detection and defect location identification in a charged particle system

WO2023088623 Art A1 25. Mai 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023088623
Aktenzeichen: EP22802977
Anmeldetag: 18. Oktober 2022
Veröffentlichung: 25. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G06T3/00G06T5/00G06T7/00H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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