Substrate transport robot and substrate transport robot system

WO2023089991 Art A1 25. Mai 2023

Anmelder: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA, KAWASAKI ROBOTICS(USA), INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023089991
Aktenzeichen: EP22895277
Anmeldetag: 12. Oktober 2022
Veröffentlichung: 25. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
KAWASAKI ROBOTICS(USA), INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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