Dry ice cleaning apparatus for semiconductor wafers and method for cleaning semiconductor wafers

WO2023090290 Art A1 25. Mai 2023

Anmelder: TAIYO NIPPON SANSO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023090290
Aktenzeichen: EP22895572
Anmeldetag: 14. November 2022
Veröffentlichung: 25. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: B08B7/00H01L21/304H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TAIYO NIPPON SANSO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Taiyo Nippon Sanso

Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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