Wafer surface chemical distribution sensing system and methods for operating the same
WO2023091188
Art A1
25. Mai 2023
Anmelder: SanDisk Technologies LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023091188
- Aktenzeichen
- EP22896269
- Anmeldetag
- 16. Mai 2022
- Veröffentlichung
- 25. Mai 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B24B37/04B24B57/02B24B29/00B24B49/02H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SanDisk Technologies LLC
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
SanDisk
US-amerikanischer Hersteller von Flash-Speicherprodukten wie SSDs, Speicherkarten und USB-Sticks. Das Unternehmen war zeitweise Teil von Western Digital und agiert seit 2025 wieder eigenständig.
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