X-ray reflectometry apparatus and method thereof for measuring three dimensional nanostructures on planar substrate

WO2023092059 Art A1 25. Mai 2023

Anmelder: INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE 🇹🇼

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023092059
Aktenzeichen: EP22896758
Anmeldetag: 18. November 2022
Veröffentlichung: 25. Mai 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/083G01N23/223G01N23/207

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Anmelder

Firma: INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
Land: 🇹🇼 Taiwan

🇹🇼 Industrial Technology Research Institute

Taiwanisches Forschungsinstitut für angewandte Technologie, entwickelt und überträgt Innovationen aus Elektronik, Materialwissenschaft und Industrietechnik in die Wirtschaft.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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