Systems and structures for venting and flow conditioning operations in inspection systems

WO2023094113 Art A1 1. Juni 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023094113
Aktenzeichen: EP22809826
Anmeldetag: 28. Oktober 2022
Veröffentlichung: 1. Juni 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01F1/74G01F15/00G05D7/00H01J37/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von