Methods and evaluation devices for analyzing three-dimensional data sets representing devices

WO2023094164 Art A1 1. Juni 2023

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023094164
Aktenzeichen
EP22801502
Anmeldetag
9. November 2022
Veröffentlichung
1. Juni 2023
Rechtsraum
WO
IPC
G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CARL ZEISS SMT GMBH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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