Method and apparatus for calibrating an operation on a photomask

WO2023094362 Art A1 1. Juni 2023

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023094362
Aktenzeichen: EP22818816
Anmeldetag: 22. November 2022
Veröffentlichung: 1. Juni 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/74H01J37/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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