Frequency conversion using interdigitated nonlinear crystal gratings

WO2023096734 Art A1 1. Juni 2023

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023096734
Aktenzeichen
EP22899271
Anmeldetag
3. November 2022
Veröffentlichung
1. Juni 2023
Rechtsraum
WO
IPC
H01S3/10H01S3/00H01S3/091G02F1/35
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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