Metrology apparatus and method

WO2023096767 Art A1 1. Juni 2023

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023096767
Aktenzeichen: EP22823219
Anmeldetag: 14. November 2022
Veröffentlichung: 1. Juni 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01N15/06G01N21/53G01N21/94H01S3/034H01S3/225G01N21/15

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von