Nanowire source/drain formation for nanosheet device

WO2023099336 Art A1 8. Juni 2023

Anmelder: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023099336
Aktenzeichen
EP22822077
Anmeldetag
24. November 2022
Veröffentlichung
8. Juni 2023
Rechtsraum
WO
IPC
H01L29/06H01L29/08H01L29/66H01L29/775H01L27/088H01L21/8234B82Y10/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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