Optical pulse stretcher, laser apparatus, and method for manufacturing electronic device

WO2023100293 Art A1 8. Juni 2023

Anmelder: GIGAPHOTON INC., INTER-UNIVERSITY RESEARCH INSTITUTE CORPORATION, NATIONAL INSTITUTES OF NATURAL SCIENCES 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023100293
Aktenzeichen: EP21966377
Anmeldetag: 1. Dezember 2021
Veröffentlichung: 8. Juni 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/10G02F1/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: GIGAPHOTON INC.
INTER-UNIVERSITY RESEARCH INSTITUTE CORPORATION, NATIONAL INSTITUTES OF NATURAL SCIENCES
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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